ภาษาไทย

ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้งความถี่แปรผัน

ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้งความถี่แปรผันคุณภาพสูงของ Yuzhen สามารถปรับความเร็วได้โดยอัตโนมัติตามสภาพการทำงานในไซต์งาน โดยใช้เพียงกำลังที่จำเป็นเท่านั้น ส่งผลให้ประหยัดพลังงานและมีความยืดหยุ่นมากขึ้น เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสายการผลิตที่มีการเปลี่ยนแปลงกระบวนการบ่อยครั้งและความต้องการด้านการใช้พลังงานและความเสถียร

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

ในโรงงานหลายแห่ง ข้อกำหนดด้านสุญญากาศไม่คงที่

กระบวนการบางอย่างต้องการสุญญากาศสูง ในขณะที่บางกระบวนการจำเป็นต้องรักษาสถานะไว้เท่านั้น หากอุปกรณ์ทำงานเต็มความเร็วอย่างต่อเนื่อง ค่าไฟฟ้าจะสูง และอุปกรณ์สึกหรอเร็วขึ้น

ข้อดีของปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้งความถี่แปรผันอยู่ที่ –

มันไม่ได้ทำงานเต็มประสิทธิภาพตลอดเวลา แต่จะปรับความเร็วโดยอัตโนมัติตามความต้องการที่แท้จริง ปั๊มสุญญากาศทำงานตามความต้องการ ช่วยประหยัดไฟฟ้า และหลีกเลี่ยงงานที่ไม่จำเป็น

เมื่อโหลดของระบบต่ำ ปั๊มสุญญากาศจะช้าลงโดยอัตโนมัติ ช่วยลดการใช้พลังงานที่ไม่จำเป็น

หากกระบวนการต้องการความสามารถในการปั๊มมากขึ้น กระบวนการก็จะสามารถตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว ทำให้มั่นใจได้ว่าจังหวะการผลิตจะไม่หยุดชะงัก

วิธีการควบคุมความถี่แบบแปรผันนี้ไม่เพียงแต่ช่วยลดต้นทุนค่าไฟฟ้าได้อย่างมาก แต่ยังช่วยให้ระบบทั้งหมดทำงานได้อย่างราบรื่นและเงียบยิ่งขึ้นอีกด้วย ในระยะยาวยังช่วยปกป้องอุปกรณ์อีกด้วย

การจัดการที่ง่าย

ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้งความถี่แปรผันมีอินเทอร์เฟซการควบคุมที่ใช้งานง่าย ช่วยให้ผู้ใช้เข้าใจสถานะการทำงานและพารามิเตอร์ต่างๆ ได้อย่างง่ายดายเพียงชำเลืองมอง ผู้ปฏิบัติงานไม่ต้องการการฝึกอบรมเฉพาะทางที่ซับซ้อน มันใช้งานง่ายมากและการปรับเปลี่ยนและการตรวจสอบรายวันก็สะดวก

สถานการณ์การใช้งานทั่วไป

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์: การแกะสลัก, CVD, PECVD และกระบวนการอื่นๆ

สายการผลิตไฟฟ้าโซลาร์เซลล์และ LED: การสะสมฟิล์มบาง การทำความสะอาด และการอพยพ

กระบวนการทางเคมี: การบำบัดแก๊ส ปฏิกิริยาสุญญากาศ การนำตัวทำละลายกลับมาใช้ใหม่

งานเคลือบ การชุบ และงานอุตสาหกรรมที่มีความสะอาดสูง

ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้ง PS SERIES

คุณสมบัติหลัก

1. เส้นทางก๊าซสั้นและลดการปนเปื้อนของก๊าซในกระบวนการ

เมื่อเปรียบเทียบกับปั๊มสุญญากาศแบบแห้งประเภทอื่น ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูของ HANBELL มีทางเดินก๊าซที่สั้นที่สุดในปั๊มสุญญากาศและอาจลดการปนเปื้อนของก๊าซในกระบวนการได้ โรเตอร์แบบสกรูสามารถเล่นเป็นกลไกการส่งผ่านผงได้ เราทำงานได้ดีแม้จะมีการปนเปื้อนมากมายภายในปั๊มก็ตาม

2. ประสิทธิภาพของปั๊มที่ยอดเยี่ยมเนื่องจากเอฟเฟกต์การปิดผนึกโปรไฟล์โรเตอร์ที่ยอดเยี่ยม

โปรไฟล์โรเตอร์ที่ได้รับการจดสิทธิบัตรสามารถให้ผลการปิดผนึกที่ดีเยี่ยมของโรเตอร์ ดังนั้นจึงอนุญาตให้มีระยะห่างที่มากขึ้นในระหว่างนั้น การสึกหรอของโรเตอร์ปั๊มและการติดขัดของโรเตอร์จากการปนเปื้อนในกระบวนการสามารถลดลงได้ด้วยระยะห่างที่อนุญาตมากขึ้น

3. โครงสร้างที่เรียบง่ายช่วยลดโอกาสที่ปั๊มจะหยุดโดยไม่คาดคิดและง่ายสำหรับกระบวนการยกเครื่อง

สุญญากาศแบบสกรูประกอบด้วยโรเตอร์สกรูคู่หนึ่งและแผ่นแยกจำเป็นในขั้นตอนต่างๆ ของห้องสูบน้ำ จึงสามารถหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนในกระบวนการระหว่างโรเตอร์และแผ่นแยกได้ ยกเครื่องปั๊มแห้ง Hanbell ง่ายกว่าปั๊มแห้งประเภทอื่นมาก ดังนั้นเวลาในการซ่อมจึงสั้นกว่าและประหยัดต้นทุน

4. ตัวควบคุมไมโครโปรเซสเซอร์และซอฟต์แวร์ควบคุมระยะไกลสามารถป้องกันปั๊มจากสถานการณ์ที่ผิดปกติได้

ตัวควบคุมไมโครโปรเซสเซอร์มีพารามิเตอร์ปั๊มจำนวนมากสำหรับการตรวจสอบสถานะการทำงาน ปั๊มสามารถใช้งานและตรวจสอบได้ง่ายด้วยแผงควบคุมการทำงาน ซอฟต์แวร์ควบคุมระยะไกลสามารถช่วยลูกค้าตรวจสอบสถานะการทำงานของปั๊มจากระยะไกล

ข้อดี

1. ใช้น้ำยาหล่อเย็นแบบพิเศษเพื่อระบายความร้อน หลีกเลี่ยงการกัดกร่อนของเปลือกด้วยน้ำหล่อเย็น

2. อินเทอร์เฟซการทำงานแบบเคลื่อนที่สะดวกในการใช้งาน แสดงสภาพการทำงานจริงของปั๊มสุญญากาศและสามารถแสดงผลได้ทั้งภาษาจีนและภาษาอังกฤษ ตอบโจทย์ลูกค้าได้อย่างแท้จริง

3. ขั้วต่อไฟระดับทหารปลอดภัยและสะดวกสบาย

4. เครื่องทำความร้อนไนโตรเจน ทำให้ปั๊มสุญญากาศเหมาะสมกับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เช่น CVD และ PECVD มากขึ้น

5. สัญญาณควบคุมและอินเทอร์เฟซสัญญาณการสื่อสาร ช่วยให้สามารถตรวจสอบปั๊มสุญญากาศจากระยะไกลได้

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้ง PS SERIES

แบบอย่าง		หน่วย	พีเอส80	พีเอส160	พีเอส180
ความเร็วในการสูบน้ำ (50HZ / 60HZ)		ลิตร/นาที	1300/1600	2150/2600	2500/3000
		ลบ.ม./ชม	80/96	140/156	150/180
		ซีเอฟเอ็ม	48/57	82/92	88/105
ความกดดันที่สมบูรณ์แบบ		ทอร์	≤7.5*10^⁻3
		เอ็มบาร์	≤1*10^-2
		ป้า	≤1
มอเตอร์	ความถี่	เฮิรตซ์	50/60
	แรงดันไฟฟ้า	V	220~440
	พลัง	แรงม้า	4	6	6
		กิโลวัตต์	2.98	4.47	4.47
การเชื่อมต่อ	ทางเข้า		NW50
	เอาท์เลอร์		NW40
ระบายความร้อน น้ำ	ไหล	ลิตร/นาที	3~7
	ความดัน	กก./ซม.²	2~4
	อุณหภูมิ	℃	18~30
	การเชื่อมต่อ		RC3/8”
N2	ความดัน	เมปา	0.15~0.2
	เจือจางการไหล	ลิตร/นาที	0~60
	กระแสการปิดผนึก	ลิตร/นาที	0~20
	การเชื่อมต่อ		สวาเกล็อค 1/4”
DIM.LWH		มม	814380663	895405678	920425650
น้ำหนัก		กก	280	300	320
เสียงรบกวน		เดซิเบล(เอ)	≤68	≤70	≤70
			หมายเหตุ: 1. ระดับเสียงข้างต้นใช้สำหรับรุ่นที่มีมอเตอร์ระบายความร้อนด้วยน้ำและไม่มีเคส 2. การติดตั้งฉนวนกันเสียงในรุ่นข้างต้นสามารถลดเสียงรบกวนได้อีก 3-4 เดซิเบล
อินเทอร์เฟซ			เซมิ73-0299
อัตราการรั่วไหลของปั๊ม		เอ็มบาร์.1/วินาที	1*10^-5
อุณหภูมิในการทำงาน		℃	5~40
ความชื้นในการทำงาน		RH	ต่ำกว่า 90%

แบบอย่าง		หน่วย	PS602	PS902	PS1302	PS1802
ความเร็วในการสูบน้ำ (50HZ/60HZ)		ลิตร/นาที	8300/10000	12500/15000	17500/21000	25000/33300
		ลบ.ม./ชม	500/600	750/900	1050/1260	1500/1800
		ซีเอฟเอ็ม	294/353	441/530	618/742	883/1060
ความกดดันที่สมบูรณ์แบบ		ทอร์	≤7.5*10⁻⁴
		เอ็มบาร์	≤1*10⁻³
		ป้า	≤0.1
มอเตอร์	ความถี่	เฮิรตซ์	50/60
	แรงดันไฟฟ้า	V	220~440
	พลัง	แรงม้า	4+4	6+4	6+6	6+6
		กิโลวัตต์	2.98+2.98	4.47+2.98	4.47+4.47	4.47+4.47
การเชื่อมต่อ	ทางเข้า		IS0100(ปิดเกลียว)		IS0160 (ปิดเกลียว)
	เอาท์เลอร์		NW40
ระบายความร้อน น้ำ	ไหล	ลิตร/นาที	3~7
	ความดัน	กก./ซม.²	2~4
	อุณหภูมิ	℃	15~30
	การเชื่อมต่อ		RC3/8”
N2	ความดัน	เมปา	0.15~0.2
	เจือจางการไหล	ลิตร/นาที	0~60
	กระแสการปิดผนึก	ลิตร/นาที	0~20
	การเชื่อมต่อ		สวาเกล็อค 1/4”
DIM.LWH		มม	814380865	895380915	920430957	9204301030
น้ำหนัก		กก	450	520	540	545
เสียงรบกวน		เดซิเบล(เอ)	≤70	≤70	≤70	≤70
			หมายเหตุ: 1. ระดับเสียงข้างต้นใช้สำหรับรุ่นที่มีมอเตอร์ระบายความร้อนด้วยน้ำและไม่มีเคส 2. การติดตั้งฉนวนกันเสียงในรุ่นข้างต้นสามารถลดเสียงรบกวนได้อีก 3-4 เดซิเบล
อินเทอร์เฟซ			เซมิ73-0299
อุณหภูมิในการทำงาน		℃	5~40
ความชื้นในการทำงาน		RH	ต่ำกว่า 90%

ขนาดทางกายภาพของ PS

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้ง PD SERIES

คุณสมบัติ

ปั๊มสุญญากาศแบบสกรูแห้ง สามารถใช้กับมอเตอร์ระบายความร้อนด้วยน้ำ (ป้องกันการระเบิด) หรือมอเตอร์ระบายความร้อนด้วยอากาศ (ป้องกันการระเบิด) ความเร็วในการปั๊มสูงในแรงดันสูง การใช้พลังงานต่ำ เสียงรบกวนต่ำ

แอปพลิเคชัน

TFT-LCD, แผงสัมผัส

พลังงานแสงอาทิตย์

ระบบโลหะวิทยา

การเคลือบผิว

กระบวนการพลาสมา

กระบวนการอบแห้ง

เทคโนโลยีชีวภาพ/เภสัชกรรม

อุตสาหกรรมเคมี

พารามิเตอร์ประสิทธิภาพ PD

แบบอย่าง		หน่วย	PD120	พีดี200	PD300	PD500	PD650	PD800
ความเร็วในการสูบน้ำ (50HZ/60HZ)		ลิตร/นาที	1667/2000	2830/3400	4167/5000	7000/8333	9030/10840	11011/13233
		ลบ.ม./ชม	100/120	167/200	250/300	420/500	540/650	680/800
		ซีเอฟเอ็ม	59/71	98/117	147/176	248/295	371/382	393/471
ความกดดันที่สมบูรณ์แบบ		ทอร์	≤7.5*10^-3
		เอ็มบาร์	≤1*10^-2
		ป้า	≤1
มอเตอร์	ความถี่	เฮิรตซ์	50/60
	แรงดันไฟฟ้า	V	220~380~440
	พลัง	แรงม้า	4/5.3	6/7.5	8/10	15/20	25/30	25/30
	พลัง	กิโลวัตต์	2.98/4	4.47/5.5	6.7/7.5	11/15	18.5/22	18.5/22
	พลัง	กิโลวัตต์	1.6/2	2.2/3	3.6/4.2	6/7	10/13	11/14
การเชื่อมต่อ	ทางเข้า		NW50	NW50	ISO63	ISO80	ISO100	ISO100
การเชื่อมต่อ	เอาท์เลอร์		NW40	NW40	NW40	NW50	ISO63	ISO63
ระบายความร้อน น้ำ	การเชื่อมต่อ		RC3/8”				RC1/2”
	ความดัน	กก./ซม.²	2.0~4.0
	อุณหภูมิ	℃	3slm18℃~7slm28℃			6slm18℃~15slm28℃
	ไหล	ลิตร/นาที	3slm18℃~7slm28℃			6slm18℃~15slm28℃
N2	ความดัน	กก./ซม.²	0.15~0.2
	เจือจางการไหล	ลิตร/นาที	โดยกระบวนการ
	กระแสการปิดผนึก	ลิตร/นาที	10
	การเชื่อมต่อ		สวาเกล็อค 1/4”
DIM.LWH		มม	814380663	920430674	1,075430650	1346538.4886	1831610735	1831610735
น้ำหนัก		กก	280	345	390	550	1050	1050
เสียงรบกวน		เดซิเบล(เอ)	68	<70	<70	<75	<80	<80
อุณหภูมิในการทำงาน		℃	5~40℃
ความชื้นในการทำงาน		RH	ต่ำกว่า 90%

เส้นโค้งประสิทธิภาพ PD

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

ขนาด PD

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump

พีดีซีรีส์

ผลิตภัณฑ์	หน่วย	PD300	PD500	PD1902	พีดี2152	PD3052	PD3652
ปั๊มแห้ง	ลบ.ม./ชม	330	500	330	500	500	500
บูสเตอร์ปั๊ม	ลบ.ม./ชม			1800	1800	3000	3600
ความเร็วสูงสุดในการสูบน้ำ	ลบ.ม./ชม	330	500	1900	2100	3000	3600
ความเร็วสูงสุดในการสูบน้ำ	ลิตร/นาที	5500	8300	32000	35000	50000	60000
แรงกดดันขั้นสูงสุด	ทอร์	7.5X10^-3	7.5X10^-3	7.5X10^-4	7.5X10^-4	7.5X10^-4	7.5X10^-4
การใช้พลังงาน	กิโลวัตต์	4.5	7.7	5.3	8.5	8.8	9.0
ทางเข้า	ดังนั้น	63	80	160	160	200	200
ทางออก	นว	40	50	40	50	50	50
ขนาด (มม.)	L	1055	1505	1055	1505	1505	1505
	W	430	525	430	525	525	525
	H	560	515	1055	790	965	965
น้ำหนัก	กก	350	500	560	730	1000	1020

ปั๊มรูต PR SERIES

คุณสมบัติ

1. ปั๊ม PR มีกลไกการสูบน้ำแบบไร้น้ำมันคุณภาพสูง

2. ประสิทธิภาพของปั๊มที่ดีเยี่ยมเนื่องจากเอฟเฟกต์การปิดผนึกโปรไฟล์เรเตอร์ที่ยอดเยี่ยม

3. การทำงานที่แรงกดดันค่อนข้างต่ำทำให้มีความน่าเชื่อถือสูง

4. การทำงานเงียบไร้การสั่นสะเทือน

สาขาการสมัคร

การเคลือบสูญญากาศ, เตาอบสุญญากาศ, กระบวนการความร้อน, ยา, เคมี, เซมิคอนดักเตอร์, TFT/LCD/LED และโซลาร์เซลล์ ฯลฯ

พารามิเตอร์ประสิทธิภาพ PR

แบบอย่าง		หน่วย	PR600	PR900	PR1300	PR1800	PR3000	PR7000
ความเร็วในการสูบน้ำ (50HZ / 60HZ)		ลิตร/นาที	13000	20000	26000	33000	63000	140000
		ลบ.ม./ชม	800	1200	1600	2000	3800	8400
		ซีเอฟเอ็ม	470	706	941	1176	2235	4947
ความกดดันที่สมบูรณ์แบบ		ทอร์	≤7.5*10⁴
		เอ็มบาร์	≤1*10⁻³
		ป้า	≤0.1
มอเตอร์	ความถี่	เฮิรตซ์	50/60
	แรงดันไฟฟ้า	V	220~440
	พลัง	แรงม้า	4	4	6	6	8/20	20
	พลัง	กิโลวัตต์	2.98	2.98	4.47	4.47	6.7/58	15
การใช้พลังงานที่ไม่ได้ใช้งาน		กิโลวัตต์						1.7
การเชื่อมต่อ	ทางเข้า		IS0100		ISO160		ISO200	320 ISO-K
การเชื่อมต่อ	เอาท์เลอร์		IS0063		ISO100		IS0160	160 ISO-K
DIM.LWH		มม	721322233	778360250	848360272	778360272	1142510358	1490669490
น้ำหนัก		กก	160	210	220	225	570	880
เสียงรบกวน		เดซิเบล(เอ)	≤60	≤60	≤62	≤62	≤65	≤70
เสียงรบกวน		เดซิเบล(เอ)	หมายเหตุ: 1. ระดับเสียงข้างต้นใช้สำหรับรุ่นที่มีมอเตอร์ระบายความร้อนด้วยน้ำและไม่มีเคส 2. การติดตั้งฉนวนกันเสียงในรุ่นข้างต้นสามารถลดเสียงรบกวนได้อีก 3-4 เดซิเบล
อัตราการรั่วไหลของปั๊ม		เอ็มบาร์.1/วินาที	1*10⁵
อุณหภูมิการทำงาน ℃		℃	5~40
การดำเนินงานความชื้น RH		RH	ต่ำกว่า 90%

ซีรีส์ประหยัดพลังงาน PMF เซมิคอนดักเตอร์

แบบอย่าง		หน่วย	PMF100	PMF120	PMF612
ความเร็วในการสูบน้ำ		ลิตร/นาที	1666	1933	10000
		ลบ.ม./ชม	100	116	600
		ซีเอฟเอ็ม	59	69	353
แรงกดดันขั้นสูงสุด		ทอร์	≤7.5×10^-3	≤7.5×10^-3	≤7.5×10^-4
แรงกดดันขั้นสูงสุด		เอ็มบาร์	≤1×10^-2	≤1×10^-2	≤1×10^-3
มอเตอร์	แรงดันไฟฟ้า	V	220V/380V	220V/380V	220V/380V
มอเตอร์	กำลังไฟพิกัด	กิโลวัตต์	2.2	2.2	2.2+2.2
การเชื่อมต่อ	ทางเข้า		NW50	NW50	ISO80
การเชื่อมต่อ	ทางออก		นว25	นว25	NW40
น้ำหล่อเย็น สลัว	ความดัน	กก./ซม.²	2.0-4.0(△P>1กก./ซม.²)	2.0-4.0(△P>1กก./ซม.²)	2.0-4.0(△P>1กก./ซม.²)
	Min.Flow	ลิตร/นาที	1	1	1
	อุณหภูมิ	℃	20°C 2 ลิตร/นาที~30°C 5 ลิตร/นาที	20 ℃ 2 นาที ~ 30 ℃ 5 ลิตร/นาที	20°C 2 ลิตร/นาที~30°C 5 ลิตร/นาที
	คอมเมชั่น		RC1/4"	RC1/4"	RC1/4"
	ยาว×กว้าง×สูง	มม	450×230×275	450×230×275	530×230×520
น้ำหนัก		กก	60	60	120
โนซิซ		เดซิเบล	60	60	60
พลังแรงดันที่เหมาะสม		กิโลวัตต์	0.39	0.44	0.5

ไอพีเอช ซีรีส์

ผลิตภัณฑ์	หน่วย	iPH100	iPH200	iPH610	iPH1210	iPH1210H	iPH1220	iPH1810	iPH1820
ปั๊มแห้ง	ลบ.ม./ชม	120	200	120	120	120	200	120	200
บูสเตอร์	ลบ.ม./ชม	1	I	600	1200	1200	1200	1800	1800
ความเร็วสูงสุดในการสูบน้ำ	ลบ.ม./ชม	120	200	700	1100	1100	1250	1800	1850
แรงกดดันขั้นสูงสุด	ทอร์	7.5×10^-3	7.5×10^-3	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4	7.5×10^-4
กำลังของระบบที่ UIt	กิโลวัตต์	2.1	3.5	2.6	3.0	3.2	4.5	3.9	4.7
ทางเข้า	ไอเอสโอ	63	63	100	100	100	100	160	160
ทางออก	นว	40	40	40	40	40	40	40	40
ขนาด (มม.)	L	830	830	830	830	830	830	830	830
	W	400	400	400	400	400	400	400	400
	H	526	526	780	780	780	780	830	830
น้ำหนัก	กก	280	300	450	455	460	470	515	530